■产品简介CR-100V白光干涉检测系统(白光干涉仪)可以非接触检测表面微结构形貌,以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高,不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业,例如:光电子材料与器件、材料科学表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光学测量、光学加工、精密机械加工,高等学校光学技术及物理光学实验等。■产品特点1.非接触检测2.新型白光干涉物镜,工作距离可达17.7mm3.可测试最低反射率0.5%的样品4.高分辨率彩色CCD系统■技术规格1、光学设计:无限远相移白光干涉系统2、观察方式:连接电脑,视频显示3、光学参数放大倍数光学系统数值孔径N.A测量范围光学分辨率工作距离5X(选购)无限远白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X无限远白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作台:圆盘360°旋转,直径150mm,带倾斜调整功能方形工作台,X轴行程:76mm,Y轴行程:50mm5、调焦:行程50mm,手动粗微调,微调格值0.002mm6、图像采集:图像传感器:1/2.5"彩色300万CMOS;分辨率:2048x1536;像素点尺寸:2.2μmx2.2um;帧率:8fps全分辨率;数据接口:USB3.0.7、光源:LED白光光源,亮度手动可调,使用寿命不低于10000小时。中心波长:580nm8、电源:AC100--240V50-60Hz9、仪器重量:20kg■仪器成套性1、白光干涉仪一台2、白光干涉物镜10X一只3、方、园工作台一套4、专用数据采集系统一套5、产品合格证、保修卡及使用说明书一份
■ 产品简介
CR-100白光干涉检测系统(白光干涉仪)可以非接触检测表面微结构形貌,以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高,不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业,例如:光电子材料与器件、材料科学表面分析,MEMS微器件、LED芯片,光学测量、光学加工、精密机械加工,高等学校光学技术及物理光学实验等。
■ 产品特点
1.非接触检测
2.新型白光干涉物镜,工作距离可达17.7mm
3.可测试最低反射率0.5%的样品
4.高分辨率彩色CCD系统
■ 技术规格
1、光学设计:无限远相移白光干涉系统
2、观察方式:连接电脑,视频显示
3、光学参数
放大倍数 | 光学系统 | 数值孔径N.A | 测量范围 | 光学分辨率 | 工作距离 |
5X(选购) | 无限远白光干涉 | 0.12 | 0.5 x 0.5 | 5um | 23.6mm |
10X | 无限远白光干涉 | 0.25 | 0.25 x 0.25 | 2.2um | 17.7mm |
4、工作台:圆盘360°旋转,直径150mm,带倾斜调整功能;X轴行程:76mm,Y轴行程:50mm
5、调焦:行程50mm,手动粗微调,微调格值0.002mm
6、图像采集:图像传感器: 1/2.5"彩色300万CMOS;分辨率:2048 x 1536;
像素点尺寸:2.2μmx2.2um;帧率:8fps全分辨率;数据接口:USB3.0.
7、光源:LED白光光源,亮度手动可调,使用寿命不低于10000小时。
中心波长:580nm
8、电 源:AC100 --240 V 50-60Hz
9、仪器重量:20kg
■ 仪器成套性
1、白光干涉仪 一台
2、白光干涉物镜10X 一只
3、多功能工作台 一套
4、专用数据采集系统 一套
■ 仪器成套性
1、白光干涉仪 一台
2、白光干涉物镜10X 一只
3、方、园工作台 一套
4、专用数据采集系统 一套
5、品牌计算机 一套
6、产品合格证、保修卡及使用说明书 一份
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