白光干涉检测系统

　　■产品简介CR-100V白光干涉检测系统（白光干涉仪）可以非接触检测表面微结构形貌，以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高，不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业，例如：光电子材料与器件、材料科学表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光学测量、光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。■产品特点1、非接触检测2、新型白光干涉物镜，工作距离可达17.7mm3、可测试最低反射率0.5%的样品4、高分辨率彩色CCD系统5、白光干涉软件操作简洁，全中文界面，很容易掌握操作。■技术规格一、白光干涉仪参数1、光学设计：无限远相移白光干涉系统2、观察方式：连接电脑，视频显示3、光学参数放大倍数光学系统数值孔径N.A测量范围光学分辨率工作距离5X（选购）无限远白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X无限远白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作台：圆盘360°旋转，直径150mm，带倾斜调整功能，X轴行程：76mm，Y轴行程：50mm5、调焦：行程50mm，手动粗微调，微调格值0.002mm6、光源：LED白光光源，亮度手动可调，使用寿命不低于10000小时。中心波长：580nm7、、电源：AC100--240V50-60Hz8、仪器重量：20kg二、图像显示：图像传感器:1/2.5"彩色300万CMOS；分辨率：2048x1536；像素点尺寸：2.2μmx2.2um；帧率：8fps全分辨率；数据接口:USB3.0.三、自动图像采集测量系统1、纳米驱动器：最大位移：80um；分辨率：5nm闭环控制；重复定位精度：0.1nm；线性度：0.2nm%F.S.2、自动图像采集：软件是图像采集以及纳米定位功能集成化控制的软件，可以根据设定，驱动纳米驱动器做纳米级定位控制，同时对不同位置的干涉条纹进行采集；同时可设定图像的曝光，像素，增益等参数。定位控制有开环闭环工能可供选择。3、白光干涉分析软件：基于Matlab使用，操作简单，可以检测台阶类样品的台阶高度，台阶最大高度不大于70um；可以检测到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被检测样品的任何位置的横切或者纵切面轮廓。检测结果可以直接生成报告。直接可以测量的数据有，被选取位置的横向以及纵向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及视场区域内最大和最小的数据。四、联想品牌计算机：Win764位操作系统/I7四核CPU/8G内存/独立显卡/23寸显示器■仪器成套性1、白光干涉仪一台2、白光干涉物镜10X一只3、多功能工作台一套4、专用数据采集系统一套5、PZT控制器及自动采集系统一套6、白光干涉测量软件一套5、联想品牌计算机一套6、产品合格证、保修卡及使用说明书一份

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　　■产品简介CR-100V白光干涉检测系统（白光干涉仪）可以非接触检测表面微结构形貌，以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高，不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业，例如：光电子材料与器件、材料科学表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光学测量、光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。■产品特点1.非接触检测2.新型白光干涉物镜，工作距离可达17.7mm3.可测试最低反射率0.5%的样品4.高分辨率彩色CCD系统■技术规格1、光学设计：无限远相移白光干涉系统2、观察方式：连接电脑，视频显示3、光学参数放大倍数光学系统数值孔径N.A测量范围光学分辨率工作距离5X（选购）无限远白光干涉0.120.5x0.55um23.6mm10X无限远白光干涉0.250.25x0.252.2um17.7mm4、工作台：圆盘360°旋转，直径150mm，带倾斜调整功能方形工作台，X轴行程：76mm，Y轴行程：50mm5、调焦：行程50mm，手动粗微调，微调格值0.002mm6、图像采集：图像传感器:1/2.5"彩色300万CMOS；分辨率：2048x1536；像素点尺寸：2.2μmx2.2um；帧率：8fps全分辨率；数据接口:USB3.0.7、光源：LED白光光源，亮度手动可调，使用寿命不低于10000小时。中心波长：580nm8、电源：AC100--240V50-60Hz9、仪器重量：20kg■仪器成套性1、白光干涉仪一台2、白光干涉物镜10X一只3、方、园工作台一套4、专用数据采集系统一套5、产品合格证、保修卡及使用说明书一份

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