■  产品简介

     CR-100V白光干涉检测系统（白光干涉仪）可以非接触检测表面微结构形貌，以及相关的截面以及粗糙度参数。精度高，不会对被测物造成损坏。主要应用于高端制造行业，例如：光电子材料与器件、材料科学表面分析，MEMS微器件、LED芯片，光学测量、光学加工、精密机械加工，高等学校光学技术及物理光学实验等。

■  产品特点

1、非接触检测                         

2、新型白光干涉物镜，工作距离可达17.7mm  

3、可测试最低反射率0.5%的样品

4、高分辨率彩色CCD系统

5、白光干涉软件操作简洁，全中文界面，很容易掌握操作。

■  技术规格

一、白光干涉仪参数

1、光学设计：无限远相移白光干涉系统

2、观察方式：连接电脑，视频显示

3、光学参数

4、工作台：圆盘360°旋转，直径150mm，带倾斜调整功能，

          X轴行程：76mm，Y轴行程：50mm

5、调焦：行程50mm，手动粗微调，微调格值0.002mm

6、光源：LED白光光源，亮度手动可调，使用寿命不低于10000小时。

         中心波长：580nm

7、、电   源：AC100 --240 V 50-60Hz

8、仪器重量：20kg

  二、图像显示：图像传感器: 1/2.5" 彩色300万CMOS；分辨率：2048 x 1536；

   像素点尺寸：2.2μmx2.2um；帧率：8fps全分辨率；数据接口:USB3.0.

三、自动图像采集测量系统

1、纳米驱动器： 最大位移：80um；分辨率：5nm闭环控制；

                重复定位精度：0.1nm；线性度：0.2nm %F.S.

2、自动图像采集：软件是图像采集以及纳米定位功能集成化控制的软件，可以根据设定，

   驱动纳米驱动器做纳米级定位控制，同时对不同位置的干涉条纹进行采集；同时可设定

   图像的曝光，像素，增益等参数。定位控制有开环闭环工能可供选择。

3、白光干涉分析软件：基于Matlab使用，操作简单，可以检测台阶类样品的台阶高度，   

   台阶最大高度不大于70um；可以检测到Ra不大于0.2um的表面粗糙度。可以截取到被

   检测样品的任何位置的横切或者纵切面轮廓。检测结果可以直接生成报告。直接可以测

   量的数据有，被选取位置的横向以及纵向的粗糙度XRa，YRa；Sa，RMS，PV,以及视场

   区域内最大和最小的数据。

四、联想品牌计算机： Win7 64位操作系统/I7四核CPU/8G内存/独立显卡/23寸显示器

■ 仪器成套性

1、白光干涉仪  一台

2、白光干涉物镜10X  一只

3、多功能工作台  一套

4、专用数据采集系统  一套

5、PZT控制器及自动采集系统  一套

6、白光干涉测量软件  一套

5、联想品牌计算机  一套

6、产品合格证、保修卡及使用说明书 一份